第11回研究会 & 意見交換会「透明アモルファス酸化物半導体 (TAOS) の新たな展開 + 若手研究者発表」(2025年 1月24日: 2024年度第4回)
【日時】 2025 年 1 月 24 日 (金)
研究会 13:00~17:50
意見交換会 18:00~19:00
【場所】
研究会: 東京大学 工学部5号館1階52号講義室、およびオンライン (ZOOM)
意見交換会: 東京大学 工学部2号館展示室
【プログラム (敬称略)】
1. 13:00~13:05 「開会挨拶」委員長 神谷 利夫
2. 13:05~13:50 「IGZO開発~最近の研究;ロジックデバイスに向けたP型等 (仮)」
野村 研二 (カリフォルニア大学サンディエゴ校)
3. 13:50~14:35 「酸化物半導体メモリ (仮)」
Jae Kyeong Jeong (Hanyang University)
14:35~14:50 Coffee Break
4. 14:50~15:35 「IGZOメモリ応用に関する研究成果報告、ロジック・メモリ半導体としてのIGZOへの期待 (仮)」
小林 正治 (東京大学)
5. 15:35~16:05 「ALDとスパッタ成膜の違い、各種材料添加効果 (仮)」
髙橋 崇典 (奈良先端大学)
16:05~16:20 Coffee Break
6. 16:20~16:35 「若手講演会①:ガスクロミズムによるSm薄膜の水素化/脱水素化反応による熱スイッチの
開発」
上野 美紀 (青山学院大学)
7. 16:35~16:50 「若手講演会②:室温 – 400oCにおけるアモルファスIn-Ga-Zn-O薄膜トランジスタの特性
評価と欠陥分布解析」
清水 篤 (東京科学大学)
8. 16:50~17:05 「若手講演会③:Microstructures of MBE-Grown AlN on N-polar Sputtered and
Annealed AlN templates」
林 侑介 (物質・材料研究機構)
9. 17:05~17:20 「若手講演会④:ケミカルリフトオフを用いた深紫外透明導電薄膜の自立膜化」
小幡 知仁 (東京都立大学)
10. 17:20~17:35 「若手講演会⑤:Reactive HiPIMS deposition of vanadium oxides using peak
current regulated process control」
Joshua Chen (東京都立大学)
11. 17:35~17:50 「若手講演会⑥:水素化触媒金属電極を利用した低接触抵抗IGZO-TFTへのアプローチ」
辻 昌武 (東京科学大学)